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原子层沉积生长纳米薄膜之间对比

原子层沉积生长纳米薄膜:以二乙基锌(DEZn)和水为反应源,在8寸Si衬底上ALD生长的ZnO薄膜


原子层沉积生长纳米薄膜:以三甲基铝(TMA)和水为反应源,在8寸Si衬底上ALD生长的Al2O3薄膜


原子层沉积生长纳米薄膜:在三维衬底上ALD生长的Al2O3薄膜